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AWM5104VN AWM5104VN AWM5104VN
AWM5104氣體質量流量傳感器具有堅固，通用的封裝形式；
AWM5104氣體質量流量傳感器具有的堅固，塑料的封裝能夠承受50psi的共模壓力，內部的小型傳感芯片能允許100 克的沖擊在額定指標下，兩個測量孔是單獨模件，可在*小的模具花費下根據實際更改，插入式AMP 連接器提供十分可靠的連接。
AWM5104氣體質量流量傳感器具有內置的信號處理電路；
AWM5104氣體質量流量傳感器產品包括含放大` 線性修正` 溫度補償和氣體標定，氣體標定通過激光校整得到。
圖1 是AWM5104氣體質量流量傳感器發熱器控制電路：
圖2 是AWM5104氣體質量流量傳感器傳感橋電路和放大線性電路：
AWM5000系列氣體質量流量傳感器技術規格：
AWM5101
AWM5102
AWM5103
AWM5104
流量范圍
0-5 SLPM
0-10 SLPM
0- 15 SLPM
0-20 SLPM
后綴-標定氣體
VA-氬氣（Ar）VC-二氧化碳（CO2）VN-氮氣（N2）
Min Typ Max
推薦供電電源VDC
8.0 10±0.01 15
功耗（mW）
100
反應時間（mA）
60
零點輸出VDC
0.95 1.00 1.05
零點漂移，VDC -20~70?C
±0.050 ±0.200
*大共模壓力psi
50
溫度范圍
-20~+70?C
沖擊指標
100g 峰值，6ms 半正弦(3drops,3 的每一方向）
輸出@ 較整點
5VDC@ 滿量程流量
壓差@ 滿量程
參照壓力& 氣流表
滿量程輸出漂移+20?~-25?C +20?~70?C
后綴VA 或VN ±7.0% 讀數，VC ±10.0% 讀數
線性誤差
±3.0% 讀數
遲滯& 重復性
±0.5% 讀數
連接器（4pin receptacle)
AMP（103956-3）或MICROSWITCH（SS12143）
泄漏 max
0.1psi/min,在靜態中
注：1、AWM5104氣體質量流量傳感器供電電壓除10.00±0.01VDC 外，不保證標定值。
2、AWM5104氣體質量流量傳感器線性誤差適用于2-100% 滿量程，但不適用0 LPM 時零輸出
3、在50psi 內壓下，AWM5104氣體質量流量傳感器每分鐘泄漏小于0.1psi，如果安裝時，相對于流量管的連接器被扭轉，將會破壞O 形圈和流量管之間的密封，引起暫時匯漏，可高達1psi，也可能在指標內，換上新O 形圈后，密封恢復，大約85% 的泄漏在24 小時內消除，48 小時內，可完全恢復。
AWM5104氣體質量流量傳感器安裝尺寸：