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AWM40000系列氣體質量流量傳感器包括不帶放大和放大信號處理的信號。AWM42150V 和AWM42300,使用和AWM2000氣體質量流量傳感器相同的電路。AWM43300V 和AWM43600V 使用和AWM3000氣體質量流量傳感器相同的電路。AWM43600V氣體質量流量傳感器為6SLPM 器件。
圖1 WM43300V氣體質量流量傳感器發熱控制電路
圖2 WM43300V氣體質量流量傳感器傳感橋路供電電路
AWM40000系列氣體質量流量傳感器選型指南:
AWM42150VH
AWM42300V
AWM43300V
AWM43600V
流量范圍(滿量程)
±25sccm
±1000sccm
+1000sccm
+6LPM
輸出電壓@ 標定點
8.5±1.5mV @25sccm
54.7±3.7mVDC @1000sccm
5±0.15VDC @1000sccm
5±0.15VDC @6LPM
零點電壓
0.0±1.0 mV DC
1.00±0.05VDC
零點漂移+25~-25?C +25~85?C
±0.20mV DC
±0.025VDC
輸出電壓漂移+25~-25?C +25~+85?C
+2.5% 讀數(典型值) -2.5% 讀數(典型值)
±2.5% 讀數(*大值) +6% 讀數(*大值)
-5% 讀數(*大值) +6%讀數(*大值)
-5% 讀數(*大值) +6% 讀數(*大值)
重復性& 遲滯
±0.35% 讀數
±1.00% 讀數
±0.5% 讀數
壓降@ 滿量程(in H2O)
1.50(典型值)
1.02(典型值)
8.00(典型值)
Min Typ. Max.
電源(VDC)
8.0 10±0.01 15 (2)
功耗(mW)
50 60
反應時間(ms)
1.0 3.0 (1)
共模壓力(psi)
150
輸出負載
NPN(電流沉):10mA PNP(電流源):20mA
標定氣體
氮氣(AWM42150VH 為氫氣)
比率變化量
±0.3% 讀數
工作溫度
-25~85C
儲存溫度(?C)
-40~90C
沖擊
100g 峰值(5drops,6axis)
注:1、從10%~90% 反應時間一般1 毫秒2、輸出電壓隨電源電壓而比率變化3、重復性和遲滯反應了測量設備的內在精度4、*大的防止損壞的流量變化量:5LPM/1.0sec
WM43300V氣體質量流量傳感器安裝尺寸(僅供參考):