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AWM40000系列氣體質(zhì)量流量傳感器包括不帶放大和放大信號(hào)處理的信號(hào)。AWM42150V 和AWM42300，使用和AWM2000氣體質(zhì)量流量傳感器相同的電路。AWM43300V 和AWM43600V 使用和AWM3000氣體質(zhì)量流量傳感器相同的電路。AWM43600V氣體質(zhì)量流量傳感器為6SLPM 器件。
圖1 WM43300V氣體質(zhì)量流量傳感器發(fā)熱控制電路
圖2 WM43300V氣體質(zhì)量流量傳感器傳感橋路供電電路
AWM40000系列氣體質(zhì)量流量傳感器選型指南:
AWM42150VH
AWM42300V
AWM43300V
AWM43600V
流量范圍（滿量程）
±25sccm
±1000sccm
+1000sccm
+6LPM
輸出電壓@ 標(biāo)定點(diǎn)
8.5±1.5mV @25sccm
54.7±3.7mVDC @1000sccm
5±0.15VDC @1000sccm
5±0.15VDC @6LPM
零點(diǎn)電壓
0.0±1.0 mV DC
1.00±0.05VDC
零點(diǎn)漂移+25~-25?C +25~85?C
±0.20mV DC
±0.025VDC
輸出電壓漂移+25~-25?C +25~+85?C
+2.5% 讀數(shù)(典型值) -2.5% 讀數(shù)(典型值)
±2.5% 讀數(shù)(*大值) +6% 讀數(shù)(*大值)
-5% 讀數(shù)(*大值) +6%讀數(shù)(*大值)
-5% 讀數(shù)(*大值) +6% 讀數(shù)(*大值)
重復(fù)性& 遲滯
±0.35% 讀數(shù)
±1.00% 讀數(shù)
±0.5% 讀數(shù)
壓降@ 滿量程（in H2O）
1.50(典型值)
1.02(典型值)
8.00(典型值)
Min Typ. Max.
電源（VDC）
8.0 10±0.01 15 (2)
功耗（mW）
50 60
反應(yīng)時(shí)間（ms）
1.0 3.0 (1)
共模壓力（psi）
150
輸出負(fù)載
NPN(電流沉):10mA PNP（電流源）：20mA
標(biāo)定氣體
氮?dú)猓?SPAN lang=EN-US>AWM42150VH 為氫氣）
比率變化量
±0.3% 讀數(shù)
工作溫度
-25~85C
儲(chǔ)存溫度（?C）
-40~90C
沖擊
100g 峰值(5drops,6axis)
注：1、從10%~90% 反應(yīng)時(shí)間一般1 毫秒2、輸出電壓隨電源電壓而比率變化3、重復(fù)性和遲滯反應(yīng)了測(cè)量設(shè)備的內(nèi)在精度4、*大的防止損壞的流量變化量：5LPM/1.0sec
WM43300V氣體質(zhì)量流量傳感器安裝尺寸（僅供參考）: