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產(chǎn)品資料

半導體特氣檢漏儀

半導體特氣檢漏儀
  • 如果您對該產(chǎn)品感興趣的話，可以
  • 產(chǎn)品名稱：半導體特氣檢漏儀
  • 產(chǎn)品型號：XP-703D
  • 產(chǎn)品展商：其他品牌
  • 產(chǎn)品文檔：無相關文檔
簡單介紹
特點： ? *適合于檢測半導體特氣的微量泄漏。 ? 采用聲光報警。
產(chǎn)品描述

規(guī)格

型       號

XP-703D

檢測對象氣體

半導體材料氣體（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等）

檢測原理

專線型半導體式

采樣方式

自動吸引式

可檢測濃度

（單位：ppm）

砷烷    磷烷    乙硼烷     硅烷     氫氣

AsH3    PH3       B2H6      SiH4       H2

0.2     0.3     0.1        0.5        1.0

檢測表示

蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍

應答速度

10秒以內

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