半導體特氣檢漏儀
¬ *適合于檢測半導體特氣的微量泄漏。
¬ 采用聲光報警。
（聲明：網站資料僅供參考，確定數據請根據樣本為準或來電聯系我服務中心）
規格
型 號
檢測對象氣體
半導體材料氣體（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等）
檢測原理
專線型半導體式
采樣方式
自動吸引式
可檢測濃度
（單位：ppm）
砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氫氣
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
檢測表示
蜂鳴器斷續鳴響及指示燈閃爍
應答速度
10秒以內