名          稱

參        數(shù)

工

作

臺

金屬臺面尺寸(mm)

750 ×650

方形玻璃臺面尺寸:(mm)

620X620

X座標行程:(mm)

600

Y座標行程：(mm)

600

儀器外形尺寸(長)Х(寬)Х(高) mm：

950Х 1100 Х1100

儀器重量（kg）：

480

Z座標升降行程:(mm)：220(調(diào)焦)   工作距離（mm）：200

X/Y/Z數(shù)顯解析度：0.0005mm (0.5um)   X、Y坐標示值誤差：≤（3+L/200）μm

影

像

系

統(tǒng)

攝影機：彩色1/3″CCD攝影機(日本索尼芯片 580線高分辨率工業(yè)攝像機）

美國變焦物鏡倍率：0.7～4.5X（定格變倍，無需每次校準）

視頻總倍率：30X～230X

物方視場：7～1.1mm

傳動型式：X、Y、Z軸均採用馬達驅動滾珠絲桿傳動的型式

電腦自動採樣，端口輸出，專業(yè)軟體進行資料分析處理

X、Y軸馬達運動速度＜120mm/s   Z軸馬達運動速度＜60 mm/s

馬達運動步長0.4 mm/步         馬達分辨率1000步/轉

照  明

程控可調(diào)LED表面光和底光(使用全**電壓)

伺服/步進電機

臺灣原裝進口

電  源

180V（AC）～260V（AC） 50HZ

測量軟體

VMS測量軟體，可測線、角、圓，隨圓、圓心距、角度、高度、平面距、空間距、平整度、球，自動逆向掃描等，自動輸出WORD/EXEL/CAD！