典型應用包括: · 半導體行業的測量和生產設備 · 印刷電路版裝配機械 · 超精密機械 · 高精度機床 · 計量機和比較儀、測量顯微鏡和其它精密測量裝置 · 直接驅動
LIP系列超高精度光柵尺
· 玻璃陶瓷或玻璃光柵尺 · 干涉掃描,信號周期小
精度:+/-0.5微米(可按需提供更高精度等級)
信號周期:0.128um
測量長度:10mm至1440mm
LIF系列高精度光柵尺
· 帶PRECIMET沾膜膠帶 · 限位開關和回零軌
精度:+/-3微米
信號周期:4um
測量長度:70mm至1020mm
LIDA系列可選不同膨脹系數的基體
· 支持不同的光柵尺基體選擇線性熱膨脹系數 · 限位開關
精度:+/-5微米(可按需提供更高精度等級)
信號周期:20um
測量長度:240mm至3040mm
LIDA系列用于高速運動和大測量范圍
· 鋼帶光柵尺穿入在鋁殼中或粘貼在安裝面上 · LIDA 400型帶限位開關
精度:可達+/-5微米
信號周期:可達20um
測量長度:140mm至30米
PP系列二維光柵尺
· 二維共同掃描點 · 干涉掃描,信號周期小
精度:可達+/-2微米
測量范圍:60 * 60 mm (可根據需要提供其他測量范圍)