維修范圍：刻蝕、RIE、平行板、ICP、pecvd、射頻濺射、CVD 和PVD等系統，工業系統中感應加熱和電介質加熱設備的電源，烘干、塑化、接、硅晶體生長和平板顯示器領域應用電源，直流偏壓和硬鍍膜，信息技術設備(ITE)及輕工業系統設備，同時對儀器電源提供檢測維修，服務于太陽能光伏、PVD鍍膜，半導體薄膜、離子注入、刻蝕，平板顯示，光盤、光電子LED等制造設備以及科研院校、技術研究所等行業。
射頻電源常見故障及維修：
故障現象1：打開電源，電源指示燈不亮；
故障現象2：電源燈亮了，預熱燈不亮；
故障現象3：電源燈亮了，預熱燈亮、輝光亮，匹配器功率及反射功率，電源的功率指示和電流指示不正常。（正常的功 率指針指到220，電流指示0.4）
故障現象4：電源燈亮了，預熱燈亮，輝光不亮；
故障現象5：無功率輸出；
故障現象6：有功率輸出，但是調不大，或是調不到正常值。
故障現象7：無反射功率，或反射功率過大，射頻功率源壞；