hyacinth電源維修高壓射頻電源維修HTCM0110
hyacinth高壓電源維修HTMV/HTEV系列 hyacinth射頻電源維修
維修范圍：刻蝕、RIE、平行板、ICP、pecvd、射頻濺射、CVD 和PVD等系統(tǒng)，工業(yè)系統(tǒng)中感應(yīng)加熱和電介質(zhì)加熱設(shè)備的電源，烘干、塑化、硅晶體生長和平板顯示器領(lǐng)域應(yīng)用電源，直流偏壓和硬鍍膜，信息設(shè)備(ITE)及輕工業(yè)系統(tǒng)、鍍膜設(shè)備。 從事大功率射頻RF電源及匹配器維修，為太陽能光伏、半導(dǎo)體、液晶面板、鍍膜行業(yè)維修PVD、CVD、PECVD、MOCVD、ION IMP設(shè)備電源，包括直流、高壓、脈沖、微波、匹配器、RPSC、CHILLER射頻電源維修。
當(dāng)濾波電容上無380VDC左右電壓時，說明PFC電路沒有正常工作，PFC模塊關(guān)鍵檢測腳為電源輸入腳VC，啟動腳Vstart/control，C/RT腳及V0腳。測試一板上濾波電容上無380VDC電壓。VC，Vstart/control,C/RT波形以及V0波形均正常，測量場效應(yīng)功率開關(guān)管無V0波形，由于FA5331(PFC)為貼片元件，機(jī)器用久后出現(xiàn)V0端與板之間虛焊，V0信號沒有送到場效應(yīng)管。將V0端與板上焊點(diǎn)焊好，用萬用表測量濾波電容有380VDC電壓。當(dāng)Vstart/control端為低電平時，PFC亦不能工作，則要檢測其端點(diǎn)與外部相連的有關(guān)電路。