等離子納秒高壓脈沖電源維修HVP-20 P;HVP-10B;HVP-05;HVP-02等型號均可維修
HVP-20 P(N)用于氣體放電與低溫等離子體的高性能納秒高壓脈沖電源。
HVP-20P(N)采用專有的marx電路，實(shí)現(xiàn)高壓脈沖電源參數(shù)的便捷可調(diào)，包括峰值電壓0 – 20 KV （-20 KV）連續(xù)可調(diào)，脈沖寬度從0 – 1ms可調(diào)，以及上升/下降沿可調(diào)，很大的拓展了科研人員的研究范圍；無論是等離子體放電、材料、分析儀器、生命科學(xué)還是物理基礎(chǔ)研究能尋覓到HVP-20的應(yīng)用。
高壓脈沖電源維修主要參數(shù)：
輸出電壓: 0 to +20 KV（-20 KV）連續(xù)可調(diào)
輸出波形: 方波、三角波
脈沖頂寬： 0 – 1 ms 連續(xù)可調(diào)
上升沿/下降沿（@50 pF）： 50 – 500 ns， 10 ns 步進(jìn)連續(xù)可調(diào)
高重頻：(100 pF 負(fù)載):
a) 5 KHz, 20 KV
b) 9 KHz, 15 KV
c) 20 KHz, 10 KV
d) 100 KHz, 5 KV
過沖: < 5%
觸發(fā): 內(nèi)部觸發(fā)、以及外部觸發(fā)(> 50 ns 脈寬, and < 100 KHz重頻)
機(jī)械尺寸: 610 * 180 * 485 mm
NiCr靶使用直流及HiPIMS晶體結(jié)構(gòu)對比：以HiPIMS高能脈沖為例，相較于直流電源，離化率更高，沉積的薄膜附著力更好，從上圖可以看出，直流電源沉積出的為柱狀結(jié)構(gòu)，而HiPIMS電源沉積出的為玻璃狀結(jié)構(gòu)，膜層更致密。