? 采用三角單束激光測(cè)量的原理。

? 激光針對(duì)顯微鏡的目標(biāo)區(qū)域，不斷地測(cè)量和報(bào)告*佳聚焦距離，然后電路驅(qū)動(dòng)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)在Z軸移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)快速聚焦。
? 能在幾乎各種物體表面實(shí)現(xiàn)聚焦。

– 反射表面，漫射表面。
– 低反射的表面。(down to 1%)
透明和不透明的物體

Navitar 自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于以下領(lǐng)域：

? LCD TFT array inspection and repair
（液晶面板的檢測(cè)和修復(fù)）
? - FPD color filter inspection and repair
（玻璃基板的檢測(cè)和修復(fù)）
? - Photo-lithography mask inspection and repair
（掩膜的檢測(cè)和修復(fù)）
? - Magnetic head inspection 磁頭檢測(cè)。
? - Silicon wafer inspection 晶圓的檢測(cè)
? - CMM machines 自動(dòng)機(jī)器的裝配
? - Printed circuit board inspection 線路板的檢測(cè)
? - Bio-tech HCS 生物醫(yī)學(xué)儀器

Key Features
主要功能
? Accuracy 精度
– No manual corrections required after focusing。實(shí)現(xiàn)聚焦后，無(wú)需人工修正。
? Tracking AF capability 聚焦追蹤
? Speed: （自動(dòng)對(duì)焦速度）
– Zero focusing delay in tracking mode。在追蹤模式?jīng)]有延遲。
– 0.2 s maximum after objective change （小于0.2S)
– vastly improves equipment tact time 大幅提高設(shè)備操作時(shí)
間
? Broad AF Range 大范圍自動(dòng)對(duì)焦
– Relaxes chuck flatness requirements and thus reduces the instrumentation cost
? Slectively focuse on top or bottom surface of the array.
? Ideal for Cell & Module applications