? 采用三角單束激光測量的原理。

? 激光針對顯微鏡的目標區域，不斷地測量和報告*佳聚焦距離，然后電路驅動運動平臺在Z軸移動，實現快速聚焦。
? 能在幾乎各種物體表面實現聚焦。

– 反射表面，漫射表面。
– 低反射的表面。(down to 1%)
透明和不透明的物體

Navitar 自動對焦系統廣泛應用于以下領域：

? LCD TFT array inspection and repair
（液晶面板的檢測和修復）
? - FPD color filter inspection and repair
（玻璃基板的檢測和修復）
? - Photo-lithography mask inspection and repair
（掩膜的檢測和修復）
? - Magnetic head inspection 磁頭檢測。
? - Silicon wafer inspection 晶圓的檢測
? - CMM machines 自動機器的裝配
? - Printed circuit board inspection 線路板的檢測
? - Bio-tech HCS 生物醫學儀器

Key Features
主要功能
? Accuracy 精度
– No manual corrections required after focusing。實現聚焦后，無需人工修正。
? Tracking AF capability 聚焦追蹤
? Speed: （自動對焦速度）
– Zero focusing delay in tracking mode。在追蹤模式沒有延遲。
– 0.2 s maximum after objective change （小于0.2S)
– vastly improves equipment tact time 大幅提高設備操作時
間
? Broad AF Range 大范圍自動對焦
– Relaxes chuck flatness requirements and thus reduces the instrumentation cost
? Slectively focuse on top or bottom surface of the array.
? Ideal for Cell & Module applications