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Colibrys的MS9000慣性加速度傳感器是一種新的超小型產品，適用于惡劣的使用環境和耐用度要求極高的應用領域。這種換代產品采用了LCC20(8.9mm x 8.9mm)陶瓷封裝，具有從±2g到±250g廣泛的加速度測量范圍。該傳感器可在較大的溫度范圍應用并且全使用壽命器件零位穩定保證在幾mg以內。
Colibrys MS9000系列是一個電容式MEMS加速度計，它是由一個立體微加工工藝支撐的硅元件，一個低功耗ASIC專用信號處理器和一個存儲補償值的微控制器以及一個溫度傳感器等元件組成。該產品是一個低功耗的、校準的、功能強大和性能穩定的產品，其電子配置中帶有一個電源重置以防止電壓不穩的全保護裝置。
產品特點：
█ LCC封裝 █測量范圍可定制 █優異的偏差穩定性 █低模擬電壓輸出█高抗沖擊性能 █集成溫度傳感器 █過電保護
應用領域
█ 慣性測量：航天；航空與制導
█ 傾斜測量：運輸；儀器儀表；鉆探
█ 振動測量：地震測量；數據記錄儀
技術指標
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參數
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單位
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MS9002.
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MS9010
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MS9030
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MS9050.
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MS910D.
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MS9250.
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全部測量范圍
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g
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±2g
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±10g
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±30g
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±50g
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±100g
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±250g
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封裝
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LCC20 ( , 8.9mm x 8.9mm / 0.35inch x 0.35inch)
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零位校準
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mg
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<10
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<50
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<150
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< 250
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<500
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<1250
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零位穩定性(﹥48H)
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mg typ.
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<0.05
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<0.25
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<0.75
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< 1.25
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<2.25
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<6.25
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開/關重復性
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mg max.
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<0.15
|
<0.75
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<1.5
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< 3.8
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<7.5
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<18.8
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零位溫度系數
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mg/℃ typ.
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<0.1 ±
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<0.5
|
<1.5
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<2.5
|
<5
|
<12.5
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mg/℃ max.
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0.4
|
± 2
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±6
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±10
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±20
|
±50
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比例因子(K1)
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mV/g
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1000± 8
|
200± 2
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66.6± 1
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40±1
|
20±1
|
8±1
|
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比例因子溫度系數
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ppm /℃ typ.
|
100
|
100
|
100
|
100
|
100
|
100
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min./ max.
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-50/250
|
-50/250
|
-50/250
|
-50/250
|
-50/250
|
-50/250
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輸入軸偏心度（Kp，Ko）
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mrad max.
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<10
|
<10
|
<10
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<10
|
<10
|
<10
|
|
% max
|
1
|
1
|
1
|
1
|
1
|
1
|
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分辨率/閾值（@ 1Hz）
|
mg max.
|
< 0.1
|
< 0.6
|
< 1.7
|
< 2.8
|
< 5.5
|
< 12.5
|
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非線性度
|
% of FS max.
|
< 0.8
|
< 0.9
|
< 0.9
|
< 0.9
|
< 1
|
< 1
|
|
g max.
|
< 0.02
|
< 0.09
|
< 0.27
|
< 0.50
|
< 1
|
< 2.5
|
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帶寬
|
Hz
|
0～≥100
|
0～≥100
|
,
0～≥100
|
0～≥100
|
0～≥100
|
0～≥100
|
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噪聲譜密度[0;9kHz]
|
μV/√Hz typ.
|
18
|
18
|
18
|
18
|
18
|
18
|
|
max.
|
24
|
24
|
24
|
24
|
24
|
24
|
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諧振頻率
|
kHz
|
1.4
|
3.7
|
6.3
|
11
|
15
|
26
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供電電壓
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VDC
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2.5～5.5VDC,標準的校準電壓為5.0VDC
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重量
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g
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<1.5
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尺寸
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mm
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標準值14.2X14.2X3.3mm，*大值14.48X14.48X3.79mm
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