CI超高真空蝶閥用于接通或切斷真空管路中的氣流。蝶門經過兩次動作完成關閉或打開蝶門的過程，閥體的兩面沒有正反面安裝方向，閥們的壓強范圍可拓寬到2x105-6.7x10-7Pa.適用介質為純凈空氣或非腐蝕性氣體。 主要技術性能
2x105~6.7x10-7Pa
閥門漏率：
≤1.3x10-7 Pa.L/S(正反向)
適用溫度：
-30~+80℃
安裝狀態：
任意
安裝方向：
開啟壓差：
推薦值：1x105Pa;大值：2x105Pa.
開門角度：
0-90°任意調節
外形及連接尺寸(mm)