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半導體應變計的應用
半導體應變計安裝在被測構件上,在構件承受載荷而產生應變時,其電阻率將發生變化。半導體應變計就是以
這種壓阻效應作為理論基礎的,其敏感柵由鍺或硅等半導體材料制成。
這種應變計可分為體型(圖5)和擴散型兩種。
前者的敏感柵由單晶硅或鍺等半導體經切片和腐蝕等方法制成,后者的敏感柵則是將雜質擴散在半導體材料中制成的。
半導體應變計的優點是靈敏系數大,機械滯后和蠕變小,頻率響應高;半導體應變計缺點是電阻溫度系數大,靈敏系數
隨溫度而顯著變化,應變和電阻之間的線性關系范圍小。正確選擇半導體材料和改進生產工藝,這些缺點可望得到克服。
半導體應變計多用于測量小的應變(10-1微應變到數百微應變),已廣泛用于應變測量和制造各種類型的傳感器.
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