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半導體應變計的工作特點

   半導體應變計是比較常用的機械傳感器。這種應變計具有較好的溫度穩定性、更好的線性度、更大的應變
范圍和使用靈活(如易于附著在彎曲表面上)。其工作原理,除了幾何效應以外,還有更為重要的所謂壓阻效應。
   當半導體應變計拉長或者縮短時,半導體的能帶結構將發生變化,則導致電阻變化。半導體應變計主要是采用Si來制作,
常常采用擴散或者離子注入式的結構,這與IC工藝兼容。
   半導體應變計為了提高靈敏度和線性度,往往采用p型半導體(不用n型半導體);而且為了提高溫度穩定性,多半采用
高摻雜半導體(折中考慮靈敏度),從而提高了工作效率。
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