·真空度測量范圍： 9.999 × 10 -1 ～ 1 × 10 -5
·離子電流測量范圍： 9.999 × 10 -1 ～ 1 × 10 -7
·測量誤差： 10%
·測量分辨： 10 -5 Pa
·允許環境濕度： -20 度～ 50 度
·空氣濕度： < 85% RH
·電源： AC 220V ± 10% 50Hz
·外形尺寸： (430 × 300 × 215)mm 3
·高壓輸出： 脈沖 30KV 15KHz