·真空度測量范圍: 9.999 × 10 -1 ~ 1 × 10 -5·離子電流測量范圍: 9.999 × 10 -1 ~ 1 × 10 -7·測量誤差: 10%·測量分辨: 10 -5 Pa·允許環境濕度: -20 度~ 50 度·空氣濕度: < 85% RH·電源: AC 220V ± 10% 50Hz·外形尺寸: (430 × 300 × 215)mm 3·高壓輸出: 脈沖 30KV 15KHz