上海祥樹(shù)歐茂機(jī)電設(shè)備有限公司優(yōu)價(jià)銷(xiāo)售美國(guó)MKS流量控制閥

π系列金屬密封壓力不敏感數(shù)字質(zhì)量流量控制器

πMFC是新一代壓力不敏感數(shù)字質(zhì)量流量控制器。實(shí)時(shí)高精度流量控制是基于先進(jìn)的數(shù)字算法技術(shù)，能有效地避免因壓力波動(dòng)而造成的流量不穩(wěn)。πMFC廣泛地應(yīng)用于諸如半導(dǎo)體和薄膜生產(chǎn)工藝等高精度、高純度氣體系統(tǒng)。πMFC集成壓力傳感器并顯示壓力等讀數(shù)，各種模擬和數(shù)字通訊口可選。

ALTA®系列金屬密封數(shù)字質(zhì)量流量控制器

ALTA®1480A/180A數(shù)字質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量監(jiān)視器，滿量程范圍從10sccm– 30slm

ALTA®MC20A數(shù)字質(zhì)量流量控制器，滿量程范圍從20 – 300slm

MASS-FLO®系列金屬密封質(zhì)量流量控制器

1479A/179A質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量監(jiān)視器，其滿量程范圍從10sccm–20slm，各種模擬和數(shù)字通訊口可選。

M330B低壓質(zhì)量流量控制器，其滿量程范圍從5–100 sccm

M330H高溫型(150℃）質(zhì)量流量控制器，其滿量程范圍從10sccm – 40 slm

MASS-FLO®系列橡膠密封質(zhì)量流量控制器

1179A/2179A質(zhì)量流量控制器/帶截至閥質(zhì)量流量控制器，其滿量程范圍從10sccm–20slm，模擬和數(shù)字通訊口可選。

M100B/M10MB質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量監(jiān)視器，其滿量程范圍從10sccm–50slm

1559A/558A大流量質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量監(jiān)視器，其滿量程范圍從20– 200slm

1579A/579A大流量質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量監(jiān)視器，其滿量程范圍從50 – 300slm