氣體質(zhì)量流量傳感器AWM42150V AWM42150V
產(chǎn)品簡介
氣體質(zhì)量流量傳感器氣體質(zhì)量流量傳感器AWM42150V氣體質(zhì)量流量傳感器AWM42150V氣體質(zhì)量流量傳感器AWM42150V
產(chǎn)品詳細信息
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●多個集中安裝/O 形密封圈
●陶瓷流量管(無引氣管),0-1000sccm
●塑料流量管(無引氣管),0-6SLPM
●高共模壓力(150psi)
●工作溫度可至125?C
● 零點和滿量程高穩(wěn)定性
AWM40000系列氣體質(zhì)量流量傳感器包括不帶放大和放大信號處理的信號。AWM42150V 和AWM42300,使用和AWM2000氣體質(zhì)量流量傳感器相同的電路。AWM43300V 和AWM43600V 使用和AWM3000氣體質(zhì)量流量傳感器相同的電路。AWM43600V氣體質(zhì)量流量傳感器為6SLPM 器件。
圖1 WM43300V氣體質(zhì)量流量傳感器發(fā)熱控制電路


AWM40000系列氣體質(zhì)量流量傳感器選型指南:
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AWM42150VH |
AWM42300V |
AWM43300V |
AWM43600V |
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流量范圍(滿量程) |
±25sccm |
±1000sccm |
+1000sccm |
+6LPM |
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輸出電壓@ 標定點 |
8.5±1.5mV @25sccm |
54.7±3.7mVDC @1000sccm |
5±0.15VDC @1000sccm |
5±0.15VDC @6LPM |
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零點電壓 |
0.0±1.0 mV DC |
0.0±1.0 mV DC |
1.00±0.05VDC |
1.00±0.05VDC |
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零點漂移+25~-25?C +25~85?C |
±0.20mV DC |
±0.20mV DC |
±0.025VDC |
±0.025VDC |
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輸出電壓漂移+25~-25?C +25~+85?C |
+2.5% 讀數(shù)(典型值) -2.5% 讀數(shù)(典型值) |
±2.5% 讀數(shù)(*大值) +6% 讀數(shù)(*大值) |
-5% 讀數(shù)(*大值) +6%讀數(shù)(*大值) |
-5% 讀數(shù)(*大值) +6% 讀數(shù)(*大值) |
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重復(fù)性& 遲滯 |
±0.35% 讀數(shù) |
±1.00% 讀數(shù) |
±0.5% 讀數(shù) |
±1.00% 讀數(shù) |
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壓降@ 滿量程(in H2O) |
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1.50(典型值) |
1.02(典型值) |
8.00(典型值) |
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Min Typ. Max. |
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電源(VDC) |
8.0 10±0.01 15 (2) |
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功耗(mW) |
50 60 |
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反應(yīng)時間(ms) |
1.0 3.0 (1) |
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共模壓力(psi) |
150 |
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輸出負載 |
NPN(電流沉):10mA PNP(電流源):20mA |
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標定氣體 |
氮氣(AWM42150VH 為氫氣) |
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比率變化量 |
±0.3% 讀數(shù) |
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工作溫度 |
-25~ |
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儲存溫度(?C) |
-40~ |
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沖擊 |
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注:1、從10%~90% 反應(yīng)時間一般1 毫秒
2、輸出電壓隨電源電壓而比率變化
3、重復(fù)性和遲滯反應(yīng)了測量設(shè)備的內(nèi)在精度
4、*大的防止損壞的流量變化量:5LPM/1.0sec
WM43300V氣體質(zhì)量流量傳感器安裝尺寸(僅供參考):


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