微控擴散系統(tǒng) 微控擴散系統(tǒng)
產(chǎn)品簡介
產(chǎn)品描述 : 設(shè)備應(yīng)用于大規(guī)模集成電路、分立器件、光電子器件、電力電子器件、太陽能電池等領(lǐng)域,適用2~6英寸工藝尺寸 產(chǎn)品詳細(xì)描述: 1.關(guān)鍵件全部采用進口件,具有高可靠性。 2.采用高可靠性工業(yè)控制微機,對爐溫、閥門、送料裝置的進舟、退舟、停舟進行全自動控制,全部工藝過程實現(xiàn)自動化,具有高抗干擾能力。 3.具有良好的人機界面,用戶可以方便地修改工藝控制參數(shù),并可隨時顯示各種工藝參數(shù)。
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