產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品描述 :  設(shè)備應(yīng)用于大規(guī)模集成電路、分立器件、光電子器件、電力電子器件、太陽能電池等領(lǐng)域，適用2~6英寸工藝尺寸 
產(chǎn)品詳細(xì)描述:  1.關(guān)鍵件全部采用進口件，具有高可靠性。
2.采用高可靠性工業(yè)控制微機，對爐溫、閥門、送料裝置的進舟、退舟、停舟進行全自動控制，全部工藝過程實現(xiàn)自動化，具有高抗干擾能力。
3.具有良好的人機界面，用戶可以方便地修改工藝控制參數(shù)，并可隨時顯示各種工藝參數(shù)。