小型等離子清洗機(jī)簡(jiǎn)介：真空臺(tái)式等離子清洗機(jī)廣泛應(yīng)用于LED、LCD、LCM、手機(jī)天錢、手提電腦按鍵及外殼, CMOS攝像頭及數(shù)碼相機(jī)零組件, Si,InP,GaAs晶圓、晶片、光纖、電路板、X-ray鏡片、UV/IR鏡片、光盤讀寫頭零組件、光學(xué)元件、 精密模具、精密儀器以及包裝、印刷、紡織、塑料制品、生物材料、醫(yī)療器皿,半導(dǎo)體,太陽(yáng)能光伏等行業(yè). 小型等離子清洗機(jī)（電漿清洗機(jī)） 1.主要用于實(shí)驗(yàn)、科研、醫(yī)學(xué)及小規(guī)模的生產(chǎn)領(lǐng)域。 2.特點(diǎn)：成本低，整機(jī)機(jī)械、電氣結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、實(shí)用，易維護(hù)。 3.控制方式：手動(dòng)或自動(dòng)控制模式,一鍵完成整個(gè)清洗工藝。 4.電源功率、清洗時(shí)間、氣體流量、凈化真空度等參數(shù)可設(shè)置。 5.射頻電源手動(dòng)匹配（自主研發(fā)的全固態(tài)晶體管輸出型） 6.浮子精密氣體流量計(jì)、針閥等控制工藝氣體流量。 7.清洗完成有提示音。 8.反射功率過大報(bào)警。 9.工藝氣體耗盡報(bào)警。 10.泵熱過載報(bào)警。 11.反應(yīng)倉(cāng)泄漏報(bào)警。 12.電極采用高通量等離子結(jié)構(gòu)，牢固可靠易拆卸。 13.反應(yīng)倉(cāng)位矩形不銹鋼腔體，水平電極板放置，間距可調(diào)。 14.真空泵采用雙腔式旋片泵，極限真空度可達(dá)2Pa以下，一般采用外置。 15.真空泵可選配液位低報(bào)警裝置。